電子特氣管道系統的設計要點(diǎn)
2023-06-29 10:56:59
電子特氣管道系統的設計要點(diǎn)：
1.對于不同特性的氣體，要規劃獨立的供應區域，一般分為三個(gè)區：腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區，將相同性質(zhì)的氣體集中加強管理，可燃性氣體區要特別規劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區。
2.管路設計需要考慮輸送的距離，距離越長(cháng)，成本越高，風(fēng)險也越高，通常較合理的設計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設計方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。
3.根據用氣設備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(cháng);宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統末端連續不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì )發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。
4.管路中應減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應設有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門(mén)控制裝置、用以控制各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)順序、系統吹除，以確保供氣系統的安全、可靠運行和防止“死區”形成而滯留污染物，降低氣體純度。
5.對高純氣體純度要求不同的用氣設備，宜采用分等級高純氣體輸送系統;也可采用同等級輸送系統，但是在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體提純裝置。
6.為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統除了設置必要的連續檢測儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應設置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。
7.在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中，要求供應10-9級的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量(包括塵粒)控制在規定的數值內，一般在設備前設置末端純化裝置，或末端高精度氣體過(guò)濾器。