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　　一般工藝氣體都是儲存在鋼瓶中，鋼瓶作為氣源相對方便使用。過(guò)去無(wú)論是在半導體生產(chǎn)車(chē)間，抑或是科研單位的實(shí)驗室，鋼瓶總是出現在需要的地方，而沒(méi)有一個(gè)統一的規劃布置。隨著(zhù)半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，對其配套項目也提出了更高要求。比如在集中供氣系統中一般要有專(zhuān)用裝置儲存鋼瓶，在過(guò)去十多年中，蓋斯帕克沒(méi)有發(fā)明集中供氣之前，特種氣體供應沒(méi)有形成有效的系統，鋼瓶凌亂，管理混亂，不相容氣體混放等問(wèn)題比較嚴重，極大的影響到用氣安全。彼時(shí)，隨著(zhù)半導體、微電子行業(yè)的發(fā)展壯大，特氣系統的工藝要求也越來(lái)越規范。

　　特種氣體工藝系統的硬件需求：

　　儲存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格。

　　氣體分配用閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)。

　　輔助氮氣吹掃系統。

　　尾氣處理裝置。

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　　工藝氣體的儲存方式比較多樣，有槽車(chē)、魚(yú)雷管拖掛車(chē)、集裝格、杜瓦罐、

　　各類(lèi)儲罐等。實(shí)驗室、科研單位、一般半導體生產(chǎn)廠(chǎng)用的特氣多用鋼瓶存儲。特種氣體工藝系統的設計應滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特氣工藝的參數、污染控制、使用安全的要求。不相容的特種氣體的排氣管道不應該接入同一排氣系統。不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不應接入同一排風(fēng)系統。