特種氣體系統的設計與施工
2021-10-12 16:40:00
特種氣體根據氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。
特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現自動(dòng)切換，自動(dòng)氮氣吹掃，自動(dòng)真空輔助放空;多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷;專(zhuān)用氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空;VMB主管氣動(dòng)閥，氮氣吹掃;支路氣動(dòng)閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統根據氣體性質(zhì)進(jìn)行分類(lèi)。
管道系統的設計
1.材料的選擇
特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門(mén)一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。
2.主管路系統的設計
在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統一般遵循管道線(xiàn)路最短,拐彎最少,布置緊湊合理,給人簡(jiǎn)單美觀(guān)的感覺(jué)。輸送系統的數量和管徑的大小一般根據機臺用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設計了備用系統。由于氣體本身的危險性，許多地方采用把管道鋪設在電纜橋架里，對于穿墻或穿過(guò)夾道的地方，周?chē)形ｋU源和經(jīng)常有危險作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。
特種氣體管道的施工
特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴格的監控和管理。最后整個(gè)系統還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。其現場(chǎng)基本的施工程序為：施工圖紙會(huì )審﹣→施工組織編寫(xiě)﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫(xiě)﹣→管道的預制﹣→管道的現場(chǎng)安裝﹣→系統檢測﹣→系統驗收
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