氣體管路是實(shí)驗室氣體管道工程的主體部分之一,在鋪設施工時(shí)要嚴格遵循相關(guān)技術(shù)要求及標準,才能保證使用過(guò)程中的安全穩定。下面四川企惠就來(lái)為大家詳細介紹下,在實(shí)驗室氣體管道工程施工中,管路鋪設的技術(shù)要求。 實(shí)驗室集中供氣的管道都要使用高質(zhì)量、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管(BA級),某些對氣體純度要求不高的地方,如通風(fēng)柜,可以使用銅管。 氣體管道不得和電纜、導電線(xiàn)路同架鋪設。 易燃易爆氣體,如乙...
2023-08
管道的安裝連接是實(shí)驗室氣體管道工程的關(guān)鍵施工部分,連接方法的正確與否關(guān)系到整個(gè)工程的質(zhì)量。目前氣體管道的連接方法主要有螺紋連接、法蘭連接和焊接連接,每種連接方法都有其適用的場(chǎng)景,是由輸送氣體的性質(zhì)、壓力、溫度以及管道材質(zhì)、尺寸、安裝場(chǎng)所等因素決定,下面普萊斯特就來(lái)為大家詳細介紹實(shí)驗室氣體管道的三種連接方法。 一、螺紋連接 螺紋連接主要適用于小直徑的管道,連接時(shí),要在螺紋連接部分纏上氟塑料密...
2023-08
一般工藝氣體都是儲存在鋼瓶中,鋼瓶作為氣源相對方便使用。過(guò)去無(wú)論是在半導體生產(chǎn)車(chē)間,抑或是科研單位的實(shí)驗室,鋼瓶總是出現在需要的地方,而沒(méi)有一個(gè)統一的規劃布置。隨著(zhù)半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展,對其配套項目也提出了更高要求。比如在集中供氣系統中一般要有專(zhuān)用裝置儲存鋼瓶,在過(guò)去十多年中,蓋斯帕克沒(méi)有發(fā)明集中供氣之前,特種氣體供應沒(méi)有形成有效的系統,鋼瓶凌亂,管理混亂,不相容氣體混放等問(wèn)題比較嚴重,極大的...
2023-07
特種供氣系統報警系統泄漏的應急處理及從業(yè)人員安全注意事項 專(zhuān)用氣瓶裝入專(zhuān)用氣柜,經(jīng)專(zhuān)用氣柜降壓過(guò)濾后,送入車(chē)間VMB/VMP(有毒氣體用VMB,無(wú)毒氣體用VMP)。特殊氣體進(jìn)入VMB/VMP后,根據設備所需壓力再次降壓,達到設備所需壓力。最后,降壓后的特種氣體被分成若干支路,送入相應的設備。 特種供氣系統報警系統泄漏的應急處理及從業(yè)人員安全注意事項特殊氣體報警系統對于有毒氣體,本設備配有專(zhuān)門(mén)...
2023-07
實(shí)驗室氣路系統的驗收過(guò)程。這是非常重要的一步,需要確保實(shí)驗室氣路系統的質(zhì)量和安全性。 首先,我們需要審查實(shí)驗室氣路系統的設計文件,確保其符合國家相關(guān)標準和規范。然后,我們還需要檢查實(shí)驗室氣路系統的安裝質(zhì)量,包括管道連接是否牢固、調節器和流量計的精度是否符合要求等。 接下來(lái),對實(shí)驗室氣路系統中的氣體進(jìn)行純度檢測,確保其符合實(shí)驗的要求。同時(shí),對實(shí)驗室氣路系統中的氣體壓力進(jìn)行穩定性檢測,確保其穩...
2023-07
實(shí)驗室氣體管路系統是實(shí)驗室中必不可少的設備之一,它主要用于將氣體從氣源輸送到實(shí)驗器材內部,是實(shí)驗研究中不可或缺的一個(gè)環(huán)節。本文將從多個(gè)角度對實(shí)驗室氣體管路系統進(jìn)行概述。 一、組成結構 實(shí)驗室氣體管路系統主要由氣源、氣體輸送管路、氣體處理裝置和實(shí)驗器材等組成。氣源包括壓縮空氣、氣瓶、液氮或液氧等,氣體輸送管路分為主管道和分支管道,氣體處理裝置包括減壓閥、過(guò)濾器、調壓器和調流器等,實(shí)驗器材則包...
2023-07
管子、管子聯(lián)接件、閥門(mén)和設備上的進(jìn)出接管間的聯(lián)接方法,由氣體的性質(zhì)、壓力和溫度以及管子的材質(zhì)、尺寸和安裝場(chǎng)所等因素決定,主要有螺紋聯(lián)接、法蘭聯(lián)接、承插聯(lián)接和焊接等四種方法。 1、螺紋聯(lián)接 主要適用于小直徑管道。聯(lián)接時(shí),一般要在螺紋聯(lián)接部分纏上氟塑料密封帶,或涂上厚漆、繞上麻絲等密封材料,以防止泄漏。在1.6兆帕以上壓力時(shí),一般在管子端面加墊片密封。這種聯(lián)接方法簡(jiǎn)單,可以拆卸重裝,但須在管道的適...
2023-07
近年來(lái)以大規模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴格的要求,使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。以下針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗收、日常管理作個(gè)簡(jiǎn)單的概述。 常見(jiàn)氣體的種類(lèi) 電子行業(yè)中常見(jiàn)氣體的分類(lèi): 普通氣體,也稱(chēng)大宗氣體(Bulk gas):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等 特種氣體(Specialty gas)主要有SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL...
2023-07
電子特氣管道系統配管及附件材質(zhì)的選擇 選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規模集成電路前工序高純氣體輸送系統管道材料采用不銹鋼光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不銹鋼電拋光管(SS316L-EP)等,但是對要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10-6及以下的管材應用SS316L-EP管。 注:①管路型式以氣體特性設計,惰性氣體使用一般的單層管,作為制程用的反應氣體,則選用高級別的SS...
2023-06
電子特氣管道系統的設計要點(diǎn): 1.對于不同特性的氣體,要規劃獨立的供應區域,一般分為三個(gè)區:腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區,將相同性質(zhì)的氣體集中加強管理,可燃性氣體區要特別規劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區。 2.管路設計需要考慮輸送的距離,距離越長(cháng),成本越高,風(fēng)險也越高,通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于...
2023-06